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铁环框架晶圆检查机

HW-1000铁环框架晶圆检查机

检测项目 :

裂痕 、缺角 、晶片大小、異物、變色、異色、髒汙等。

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产品特点

机台尺寸

系统规格

项目名称

规格

控制器

Intel Core i7工业电脑

显示器

24”TFT LCD

低倍镜头组

12M画素0.69X彩色镜头组(含LED光源/控制器)

高倍镜头组

12M画素20X彩色镜头组(含LED光源/控制器)

支持铁框

外径187/212mm两种可调

出/入料平台

25入/25出(最高叠25片)

入料方式

伺服滚珠螺杆平台真空旋转台

低倍解析

5um

高倍解析

0.1725um

电力输入

单向220VAC 30A

气压源(CDA)

5kg/cm2 ,30L/min

机台尺寸

1400x1000x1800mm

设备重量

600 KG


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